中文名称: 三甲基硅烷
中文别名: 三甲基硅烷
英文名称: Trimethylsilane
英文别名: Trimethylsilane,97%;TRIMETHYLSILANE (IN CYLINDER);trimethylsilicon;Trimethylsilyl hydride, 2-Methyl-2-silapropane;Silane, trimethyl-;Trimethylsilane 99.9%;SILICON TRIMETHYL;TRIMETHYLSILANE
CAS号: 993-07-7
EINECS号: 213-603-0
分子式: C3H10Si
分子量: 74.2
InChI: InChI=1/C3H10Si/c1-4(2)3/h4H,1-3H3
分子结构:
密度: 0,638 g/cm3
熔点: --135,9°C
沸点: 6,7°C
闪点: <-29°C
折射率: 1.3800 (estimate)
蒸汽压: -
物化性质: -
产品用途: 三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料,其用途逐渐扩大。
危险品标志: -
风险术语: -
安全术语: 将容器保存在通风良好的地方、远离火源-禁止吸烟、如果接触眼睛,请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、采取预防静电放电的措施